LINTEC林泰克導入排除設備前的稀釋N2氣體加熱的小型熱交換器HX-0050A北崎熱賣

2025/05/29 10:40:50

小型氣體加熱器（熱交換器）

瞬間高效率流體加熱技術產(chǎn)品HX系列。

該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。

在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。

通常，配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達到穩(wěn)定加熱的目的。

在半導體制造工藝中，不僅需要對氣體進行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設置質量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結構。LINTEC研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結構，適合與質量流量控制器輸出端連接使用。

可將50SLM的N2氣體加熱至200℃的小型熱交換器。

LINTEC林泰克導入排除設備前的稀釋N2氣體加熱的小型熱交換器HX-0050A北崎熱賣 HX-0050A

LINTEC林泰克導入排除設備前的稀釋N2氣體加熱的小型熱交換器HX-0050A北崎熱賣防止蝕刻設備排氣管路堵塞

半導體制造設備和FPD(平板顯示器)制造設備情況下，反應氣體被送到排除設備的過程中，會部分粘附在配管上形成堵塞。通常，用熱N2氣體稀釋是解決方法，但是僅通過管道外部帶狀加熱器加熱無法得到理想的效果。緊湊型熱交換器HX-0050A系列可充分加熱流體，*限度減少此類堵塞問題的發(fā)生。

	流量(N2換算)	壓力損失(N2)	耐壓(G)	使用溫度	接氣體部分材質
規(guī)格	50SLM	9.8kPa	1MPa	200℃	SUS316L不銹鋼

※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。