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EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT70F
EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT70F
EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT70F
渦輪分子泵是一種高真空泵,利用高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片與氣體分子碰撞,將氣體分子從進(jìn)氣口推向排氣口,從而實(shí)現(xiàn)高真空的獲取。它由德國(guó)物理學(xué)家貝克(W. Becker)于1958年發(fā)明,是現(xiàn)代高真空和高真空技術(shù)中的核心設(shè)備。渦輪分子泵通常與前置泵(如干式泵或旋片泵)結(jié)合使用,以在寬壓力范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高效抽氣。
渦輪分子泵應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝,提供高潔凈度的真空環(huán)境。
科學(xué)研究:在粒子加速器、核聚變實(shí)驗(yàn)、表面物理和材料科學(xué)等領(lǐng)域,渦輪分子泵用于實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境。
航空航天:用于模擬太空環(huán)境,測(cè)試航天器部件在真空條件下的性能。
光學(xué)鍍膜:在光學(xué)鏡片、濾光片和激光元件的鍍膜工藝中,渦輪分子泵提供無(wú)污染的真空條件。
分析儀器:用于質(zhì)譜儀、電子顯微鏡和同步輻射裝置等精密儀器中,確保高真空環(huán)境的穩(wěn)定性。
醫(yī)療設(shè)備:在放射性同位素生產(chǎn)和醫(yī)療成像設(shè)備中,渦輪分子泵用于維持高真空環(huán)境。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商,成立于1912年,部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀,荏原以“為地球環(huán)境和社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命,業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域,產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
核心業(yè)務(wù)與技術(shù)優(yōu)勢(shì)
荏原的核心產(chǎn)品包括:
流體機(jī)械:全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案,廣泛應(yīng)用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領(lǐng)域,其高效節(jié)能設(shè)計(jì)顯著降低碳排放。
環(huán)境工程:提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術(shù),助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設(shè)備:蒸汽輪機(jī)、燃?xì)鈮嚎s機(jī)等產(chǎn)品服務(wù)于石油、化工及新能源產(chǎn)業(yè)。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:高純度真空泵等產(chǎn)品支撐電子行業(yè)精密制造。