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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U6H
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U6H
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U6H
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個行業(yè)和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時,其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢。
長處
重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊,是標準系列中*小的泵。
非常適合實驗室和實驗室中的小型真空設備。
可進行多次作(*多 3 臺)。
高真空 (10-8Pa 或更低)是可能的。
通用帶電機羅茨真空泵
GR60A GR90A GR180A
CR16B CR30B CR60B-S CR60B-T CR300B CR60B
干泵用消音器
RS-01
RS-02
RS-03
EFS-11-NW25/2/2516
EFS-19-NW40/1
多級羅茨干式真空泵
干電池裝置ECO-SHOCK ES4A ES10
LR1800 LR3601-R
羅茨干式真空泵
LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601
LR3601-T(LR3601-TT) LR3601-R LR3601-TR(LR3601-TTR)
機械增壓泵 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C
PRC-036C(PRC-036C-T) PRC-036D PRC-036D(PRC-036D-T)
規(guī)范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 750 |
氫 | 1,100 | ||
氬 | 620 | ||
水 | 2,100 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1,1×103(7.9) |
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 5,6×107(4.2×105) |
氫 | 3.1×105(2.3×103) | ||
冷卻下降時間(電源循環(huán)) | *?。℉z) | 80/70(50/60) | |
進氣法蘭 | UVG-150,UFC-203 | ||
壓縮機組 | C10T、C10AT | ||
質(zhì)量 | 公斤 | 19 |
2. 核心技術及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋:
真空設備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備:濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術:OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。