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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U4H
2025/07/04 13:51:30
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U4H
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U4H
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個行業(yè)和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時,其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢。
長處
它是一種 4 型低溫泵,可提供*的排氣特性。
高抽速有助于提高抽速和生產(chǎn)率。
它特別適用于半導體制造設備和小型設備的濺射工藝。
一臺壓縮機*多可以運行四個泵。
可根據(jù)用途設計制造。
MS120A MS600A MS1200A
LS120A-C
LS120A-L
LS300A-C
LS300A-L
LS600A-C
LS600A-L
LS1200A-C
LS1200A-L
多級羅茨干式真空泵
HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 UR600 UR421-T UR1200 UR1800
UR3601-TT
機械增壓泵 PRC-003A PRC-006A PRC-012A
規(guī)范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 450 |
氫 | 500 | ||
氬 | 370 | ||
水 | 1,100 | ||
極限壓力 | 帕 | 10-7 | |
*流量 | 氬 | 帕·L/秒 | 1.3×103 |
排氣量 | 氬 | 帕·升 | 1.0×107 |
氫 | 1,5×10%5 | ||
冷卻下降時間 | *?。?0/60Hz) | 45/50 | |
質(zhì)量 | 公斤 | 14.5 |
2. 核心技術及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋:
真空設備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備:濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術:OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。