LINTEC林泰克導(dǎo)入排除設(shè)備前的稀釋N2氣體加熱的小型熱交換器HX-0050A北崎熱賣

2025/05/29 10:40:50

小型氣體加熱器（熱交換器）

瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。

小型氣體加熱器的用途

可加熱各種流體
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

LINTEC林泰克導(dǎo)入排除設(shè)備前的稀釋N2氣體加熱的小型熱交換器HX-0050A北崎熱賣

各種流體加熱

該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒(méi)有腐蝕性的流體。

瞬間且穩(wěn)定的流體加熱

在配管中流動(dòng)的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點(diǎn)。

通常，配管中的流體通過(guò)配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點(diǎn)，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達(dá)到穩(wěn)定加熱的目的。

質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

在半導(dǎo)體制造工藝中，不僅需要對(duì)氣體進(jìn)行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu)，適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。

小型熱交換器HX-0050A

可將50SLM的N2氣體加熱至200℃的小型熱交換器。

特點(diǎn)

LINTEC林泰克導(dǎo)入排除設(shè)備前的稀釋N2氣體加熱的小型熱交換器HX-0050A北崎熱賣 HX-0050A

面間距158㎜×長(zhǎng)度80㎜×高80㎜的緊湊型設(shè)計(jì)
*流量50SLM
*使用溫度200℃
接觸氣體部分接采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)，可加熱對(duì)其無(wú)腐蝕性的氣體
真空、加壓條件下也可使用

使用范例

導(dǎo)入排除設(shè)備前的稀釋N2氣體加熱

LINTEC林泰克導(dǎo)入排除設(shè)備前的稀釋N2氣體加熱的小型熱交換器HX-0050A北崎熱賣防止蝕刻設(shè)備排氣管路堵塞

半導(dǎo)體制造設(shè)備和FPD(平板顯示器)制造設(shè)備情況下，反應(yīng)氣體被送到排除設(shè)備的過(guò)程中，會(huì)部分粘附在配管上形成堵塞。通常，用熱N2氣體稀釋是解決方法，但是僅通過(guò)管道外部帶狀加熱器加熱無(wú)法得到理想的效果。緊湊型熱交換器HX-0050A系列可充分加熱流體，*限度減少此類堵塞問(wèn)題的發(fā)生。

規(guī)格表

	流量(N2換算)	壓力損失(N2)	耐壓(G)	使用溫度	接氣體部分材質(zhì)
規(guī)格	50SLM	9.8kPa	1MPa	200℃	SUS316L不銹鋼

※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請(qǐng)直接致電或郵件咨詢LINTEC。

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